三气分析仪利用非分散红外(NDIR)原理:CO、CO₂、CH₄ 分子分别吸收特定波长的红外光,吸收量与浓度相关。仪器测得三种气体含量后,结合炉温可计算碳势;与控制器显示值比较可得出过程因子(PF),残余 CH₄ 则反映气氛是否接近平衡。它是 CQI-9 碳势校验和气氛诊断的常用工具。
- NDIR:不同气体吸收不同波长红外光
- 测 CO、CO₂、CH₄(部分可选 O₂)
- CO + CO₂ + 温度 → 碳势;与控制器对比 → PF
- CH₄ 偏高说明气氛偏离平衡
- 取样系统(过滤、冷却、防漏)决定数据质量
NDIR 原理
许多气体分子在红外区有特征吸收带:CO 约在 4.6 μm 附近,CO₂ 约在 4.3 μm 附近,CH₄ 约在 3.3 μm 附近。NDIR 分析仪的基本结构是:
红外光源 → 测量气室(被测气体流过)→ 滤光片(选择特定波长)→ 探测器
浓度越高,被吸收的红外光越多,探测器信号越弱。通过标准气标定,即可建立信号与浓度的关系。N₂、H₂ 等双原子同核分子不吸收红外光,因此不会干扰测量。
测量内容与计算
以高思控制 FAA-B 便携式三气分析仪为例,官网介绍其可测量气氛中 CO、CO₂、CH₄(O₂ 可选),并以此计算碳势、PF 值等过程值,用于诊断炉内气氛,减少人为因素对碳势测量的影响。
碳势计算:基于边界反应平衡,用实测 CO、CO₂ 和输入的炉温计算碳活度,再换算碳势。
过程因子(PF):比较分析仪计算的碳势与控制器显示碳势,得出修正系数。
CH₄ 诊断:残余甲烷高通常意味着富化气过多、气氛未达到平衡或炉温偏低。此时基于平衡假设的碳势计算都会偏差,应先解决气氛问题。
取样系统
分析仪的读数再准,样气不对也没用。取样系统要点:
- 取样点:代表工件区,远离进气口和炉门;
- 过滤:去除炭黑和粉尘,防止污染气室;
- 冷却与除水:避免冷凝水进入仪器;
- 防漏:任何泄漏都会吸入空气,使 CO₂ 偏高、碳势偏低;
- 流量:按仪器要求稳定流量;
- 安全:样气含 CO 和 H₂,排气需安全处理。
用途
- 每日碳势校验(满足 CQI-9 备用验证要求);
- 新炉调试和气氛诊断;
- 发生器出口气体质量检查;
- 对比不同炉、不同载气的气氛状态。
常见问题
三气分析仪测出的碳势能直接替代氧探头控制吗?
固定式分析仪可用于控制,但取样有延迟,通常仍以氧探头做实时控制,分析仪做校验和 CO 修正。
为什么分析仪测的 CO 和设定值相差很大?
说明控制器中设定的 CO% 与实际不符,常见于氮-甲醇气氛。应以实测为准修正设定,或采用在线 CO 测量。
分析仪多久标定一次?
按厂家建议和使用频率确定,并在每次测量前做零点检查(如果仪器支持)。关键是要有标定记录和可溯源的标准气。