
工艺与控制要求
| 应用场景 | 评估要点 |
|---|---|
| 炉温均匀性 | 明确工作区和装炉方式,记录温度均匀性测试(TUS)及适用的验收条件。 |
| 测量系统精度 | 识别控制与记录通道、参考仪器和适用的系统精度测试(SAT)要求。 |
| 运行记录与审核 | 关联设备、配方版本、批次、实测值和偏差,并与客户确认审批流程及保存期限。 |
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请提供材料、炉型、客户规范以及需要采集的测量和记录项目。

| 应用场景 | 评估要点 |
|---|---|
| 炉温均匀性 | 明确工作区和装炉方式,记录温度均匀性测试(TUS)及适用的验收条件。 |
| 测量系统精度 | 识别控制与记录通道、参考仪器和适用的系统精度测试(SAT)要求。 |
| 运行记录与审核 | 关联设备、配方版本、批次、实测值和偏差,并与客户确认审批流程及保存期限。 |
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