Requisitos para el procesamiento térmico de obleas

Defina el perfil térmico, la atmósfera, la limpieza y los registros de lote antes de evaluar la integración del control.

Requisitos de proceso y control

Aplicación	Qué revisar
Perfil térmico	Identifique el material de la oblea y la etapa. Especifique las rampas, los tiempos de mantenimiento, el enfriamiento, la uniformidad y el método de medición.
Gas de proceso y limpieza	Especifique la composición, la pureza, el caudal, la presión y los límites de contaminación para el equipo y la etapa.
Trazabilidad de obleas y lotes	Defina cómo se vincularán los identificadores, las recetas, las mediciones y las alarmas. Enumere las interfaces del equipo y del sistema anfitrión.

Indique el material y tamaño de la oblea, la etapa, el equipo, las especificaciones del gas y las interfaces requeridas.